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J-GLOBAL ID：202404017559257172
Research Project code：23829445
次世代デバイスの品質保証のためのX線イメージングデバイスの開発
次世代デバイスの品質保証のためのX線イメージングデバイスの開発
National award number：JPMJAX23K8
Study period：2023 - 2025
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 計量標準総合センター, 研究員 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJAX23K8
Research overview：
現在、デジタル社会を支える半導体デバイスは高機能化に伴う素子の微細化および三次元化が進んでいます。今後さらに複雑化する素子の品質管理を行うためには、検査技術の高度化が必要不可欠です。本研究では透明セラミックシンチレータの合成技術を適応した高感度かつ高空間分解能のX線イメージングデバイスを開発することで、高精度かつ高効率な非破壊検査の実現を目指します。
Terms in the title (4)：
Terms in the title
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Research program：
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Parent Research Project：
Hardware in Future for Resilience of Real Space
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
