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J-GLOBAL ID：202404017892953313
Research Project code：23829933
計測データ駆動型薄膜プロセス最適化システムの開発
計測データ駆動型薄膜プロセス最適化システムの開発
National award number：JPMJCR2336
Study period：2023 - 2028
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 大学院工学研究科, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR2336
Research overview：
強相関電子系材料の単結晶基板上でのヘテロエピ薄膜成長を念頭に、先端マルチ計測、モンテカルロシミュレーション、ベイズ最適化によって加速的に薄膜作製プロセスの最適化を実現する計測データ駆動型薄膜プロセス最適化システムを開発します。さらに、開発した最適化システムの技術移植性を複数成膜装置において実証し、多層膜、ナノコンポジット薄膜、および実用エネルギー材料へのユースケース展開を行います。
Terms in the title (5)：
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Keywords automatically extracted from the title.
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Research program：
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Parent Research Project：
Creating Innovative Measurement and Analysis Systems Aiming to Solve Social Issues
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
