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J-GLOBAL ID：202504008229675278  Research Project code：24020038

MEMS差圧センサ素子を利用した波高センサの研究開発

MEMS差圧センサ素子を利用した波高センサの研究開発
National award number：JPMJST2458
Study period：2024 - 2024
Organization (1)：
慶應義塾大学

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Principal investigator：
高橋 英俊

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(
慶應義塾大学

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, 理工学部, 准教授 )
Research overview：
超高感度なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の1種、ピエゾ抵抗型カンチレバーをセンサ素子とする差圧センサを利用して、低価格化・低消費電力化・小型化という課題を解決する波高センサを開発する。さらに、製品化が可能なレベルのデバイスの開発によって、MEMS差圧センサのアプリケーションの実用化を行う企業への技術移転を目指す。
Terms in the title (6)：
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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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