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J-GLOBAL ID：201502207745539126   Reference number：15A1241850

Study of DSA Interaction Range using Gaussian Convolution

Gauss型コンボリューションを用いたDSA相互作用距離の研究

Author (7)： YI He (Stanford Univ., CA, USA) ,  YI He (IMEC, Leuven, BEL) ,  BEKAERT Joost (IMEC, Leuven, BEL) ,  GRONHEID Roel (IMEC, Leuven, BEL) ,  FENGER Germain (Mentor Graphics Corp., Leuven, BEL) ,  NAFUS Kathleen (Tokyo Electron America, Inc., TX, USA) ,  WONG H.-S. Philip (Stanford Univ., CA, USA)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 9423  Page： 94232A.1-94232A.12  Publication year： 2015 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： convolution ,  block copolymer ,  *interaction ,  form ,  plate(material) ,  annealing(heat treatment) ,  *self-organizing ,  directionality ,  electric contact hole ,  *pattern formation ,  *lithography ,  machining defect
Semi thesaurus term： template ,  *block copolymer lithography

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Thin films of organic compounds  (BK14070L)

Terms in the title (5)： Gauss型 ,  コンボリューション ,  DSA ,  相互作用 ,  研究