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J-GLOBAL ID：200902094832179414   整理番号：91A0527371

特集/64M DRAM 64M DRAMを実現したi線技術

Special issue : 64M DRAM ; the I line technology which realized 64M DRAM.
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著者 (3件)：
白井久嗣

白井久嗣 について

(富士通)

富士通 について

, 
小林勝義

小林勝義 について

(富士通)

富士通 について

, 
中川健二

中川健二 について

(富士通)

富士通 について


資料名：
電子材料  (Electronic Parts and Materials)

電子材料 について


巻： 30  号： 6  ページ： 54-59  発行年： 1991年06月 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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ブロック露光法を考案し,標記製作と量産が可能であることを示し...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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DRAM

DRAM について

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分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
記憶装置 
(JC04060F)

記憶装置 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
DRAM

DRAM について


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