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J-GLOBAL ID：200902120282812417   整理番号：93A0686221

特集 ウルトラクリーン時代の半導体周辺機器 低表面張力アンモニア水

Special issue : Peripheral semiconductor equipment in the ultraclean age.Low-surface-tension aqueous ammonia.

著者 (3件)： 石川典夫 (関東化学 中研) ,  森清人 (関東化学 中研) ,  森川文博 (日産化学工業)
資料名： 電子材料  (Electronic Parts and Materials)
巻： 32  号： 8  ページ： 42-43  発行年： 1993年08月 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 低表面張力アンモニア水のパーティクル除去能力,マイクロラフネ...

シソーラス用語： 界面張力 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： クリーン ,  周辺機器 ,  表面張力 ,  アンモニア水