文献
J-GLOBAL ID：200902214629155904   整理番号：06A0578373

MPPC法によるCD-SEM画像に基づいたパターン形状の評価

Estimation of pattern based on CD-SEM image by using MPPC method
著者 (4件)：
ONOZUKA T.

ONOZUKA T. について

(Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN)

Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN について

, 
OJIMA Y.

OJIMA Y. について

(Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN)

Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki, JPN について

, 
MEESSEN J.

MEESSEN J. について

(ASML, Veldhoven, NLD)

ASML, Veldhoven, NLD について

, 
RIJPERS B.

RIJPERS B. について

(ASML, Veldhoven, NLD)

ASML, Veldhoven, NLD について


資料名：
Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)

Proceedings of SPIE について


巻： 6152  号： Pt.1  ページ： 61521D.1-61521D.9  発行年： 2006年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
ArFフォトレジストパターンを測定し,CD-SEMの多重パラ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*走査電子顕微鏡

走査電子顕微鏡 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*臨界次元

臨界次元 について


   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0578373&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0943A") }}
分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス計測・試験・信頼性 
(NC03040G)

固体デバイス計測・試験・信頼性 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
MPPC

MPPC について

, 
CD-SEM

CD-SEM について

, 
パターン形状

パターン形状 について

, 
評価

評価 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM