文献
J-GLOBAL ID：200902235315919109
整理番号：03A0627504
Abatement of CF4 by atmospheric-pressure microwave plasma torch.
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著者 (2件)：
,
資料名：
巻：
10
号：
8
ページ：
3410-3414
発行年：
2003年08月
JST資料番号：
T0641B
ISSN：
1070-664X
CODEN：
PHPAEN
資料種別：
逐次刊行物 (A)
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
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