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J-GLOBAL ID：200902264546867870   整理番号：07A0334408

枚葉式縦型スパッタリング装置【New SPV-1000N】

著者 (8件)： 小林洋介 (アルバック) ,  飯島正行 (アルバック) ,  林信博 (アルバック) ,  平山浩二 (アルバック) ,  浜田龍二 (アルバック) ,  桃野健 (アルバック) ,  橋本雄介 (アルバック) ,  中塚篤 (アルバック)
資料名： ULVAC Technical Journal  (ULVAC Technical Journal)
号： 66  ページ： 1-4  発行年： 2007年03月20日 
JST資料番号： L3761A  ISSN： 0910-6189  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 自動車用枚葉式縦型スパッタリング装置SPV-1000Nは,リ...

シソーラス用語： *スパッタリング装置 ,...

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分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  表面処理  (YH04112X)

タイトルに関連する用語 (3件)： 枚葉式 ,  縦型 ,  スパッタリング装置