文献
J-GLOBAL ID:200902132990123336   整理番号:95A0021199

’95最新液晶プロセス技術 成膜技術-CVD CWマイクロ波発生装置/マイクロ波自動整合器 SGP-10A,SGM-10A/CMC-10A,SMA-10A ダイヘン

1995’s latest liquid crystal process technology.Film formation technology - CVD CW microwave generator/automatic microwave matching machine.SGP-10A, SGM-10A/CMC-10A and SMA-10A.DAIHEN.
資料名:
巻: 13  号: 13  ページ: 101  発行年: 1994年10月 
JST資料番号: Y0509A  ISSN: 0286-5025  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
SGP-10AはCWマイクロ波発生装置の高圧電源部,SGM-...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
,...
   続きはJDreamIII(有料)にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=95A0021199&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0509A") }}
分類 (1件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
発振回路 

前のページに戻る