文献

J-GLOBAL ID：200902184825077656   整理番号：00A0926553

Thermal acid generator(TAG) synthesis variables and their effect on resist performance.

著者 (4件)： OBERLANDER J (Clariant Corp., N.J.) ,  WANAT S (Clariant Corp., N.J.) ,  MCKENZIE D (Clariant Corp., N.J.) ,  KOKINDA E (Clariant Corp., N.J.)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3999  号： Pt.2  ページ： 655-664  発行年： 2000年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)