文献

J-GLOBAL ID：200902191650376562   整理番号：99A0580899

アンモニア-過酸化水素薬液(APM)の洗浄性の制御

Cleaning performance control of an ammonia and hydrogen peroxide mixture(APM).

著者 (3件)： 山本賢一 (NEC) ,  中村彰信 (NEC) ,  長谷潮 (NEC)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 59th  号： 2  ページ： 679  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： アンモニア ,  過酸化水素 ,  洗浄性