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J-GLOBAL ID：200902254559759000   整理番号：05A0497006

半導体製造分野の計測・解析・試験技術 スキャニングSQUID顕微鏡

Measurement, analysis and testing technologies for the semiconductor manufacturing. Scanning SQUID microscope.
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著者 (2件)：
佐久間菊雄

佐久間菊雄 について

(セキテクノトロン)

セキテクノトロン について

, 
KNAUSS L. A.

KNAUSS L. A. について

(Neocera Inc.)

Neocera Inc. について


資料名：
電子材料  (Electronic Parts and Materials)

電子材料 について


巻： 44  号： 6  ページ： 37-42  発行年： 2005年06月01日 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 紹介的記事  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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65nmノードに向け,ICプロセスが複雑となり,不良解析がさ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*超LSI

超LSI について

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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SQUID顕微鏡

SQUID顕微鏡 について

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分類 (2件)：
分類
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半導体集積回路 
(NC03162T)

半導体集積回路 について

,  固体デバイス計測・試験・信頼性 
(NC03040G)

固体デバイス計測・試験・信頼性 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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半導体製造

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計測

計測 について

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解析

解析 について

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試験

試験 について

, 
スキャニング

スキャニング について

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SQUID顕微鏡

SQUID顕微鏡 について


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