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J-GLOBAL ID：200902257252750730   整理番号：03A0519943

SPring-8におけるCZ-Si結晶中の転位の伝播挙動と三次元構造評価

Investigation of propagation behavior and three-dimensional structure of dislocation in CZ-Si crystal ingots at SPring-8

著者 (8件)： 太子敏則 (信州大 教育) ,  千川圭吾 (信州大 教育) ,  飯田敏 (富山大) ,  出作雅幸 (富山大) ,  梶原堅太郎 (SPring-8) ,  鈴木芳文 (九州工大) ,  近浦吉則 (九州工大) ,  川戸清爾 (理学電機)
資料名： 日本結晶成長学会誌  (Journal of the Japanese Association of Crystal Growth)
巻： 30  号： 3  ページ： 60  発行年： 2003年07月05日 
JST資料番号： F0452B  ISSN： 0385-6275  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 結晶中に含まれる不純物ほう素の濃度の違いによる結晶中の転位の...

シソーラス用語： シンクロトロン放射 ,...

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分類 (1件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： SPring-8 ,  Si結晶 ,  転位 ,  伝播 ,  挙動 ,  構造評価