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J-GLOBAL ID：201102247795577713   整理番号：10A1377897

Alの組成比が高いAl_xGa_(1-x)N薄膜における弾性-塑性の機械的特性

Elastic-Plastic Mechanical Properties of AlxGa1-xN Thin Films with High Al Composition

著者 (10件)： XU Fu-jun (北京大学物理学院 人工微結構与介観物理国家重点実験室, 北京) ,  沈波 (北京大学物理学院 人工微結構与介観物理国家重点実験室, 北京) ,  王茂俊 (北京大学物理学院 人工微結構与介観物理国家重点実験室, 北京) ,  XU Jian (北京大学物理学院 人工微結構与介観物理国家重点実験室, 北京) ,  苗振林 (北京大学物理学院 人工微結構与介観物理国家重点実験室, 北京) ,  YANG Zhi-jian (北京大学物理学院 人工微結構与介観物理国家重点実験室, 北京) ,  秦志新 (北京大学物理学院 人工微結構与介観物理国家重点実験室, 北京) ,  ZHANG Guo-yi (北京大学物理学院 人工微結構与介観物理国家重点実験室, 北京) ,  LIN Bing (北京大学工学院,先進材料与納米技術系, 北京) ,  BAI Shu-lin (北京大学工学院,先進材料与納米技術系, 北京)
資料名： Bandaoti Xuebao  (Bandaoti Xuebao)
巻： 28  号： 10  ページ： 1551-1554  発行年： 2007年 
JST資料番号： C2377A  ISSN： 0253-4177  CODEN： PTTPDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Alの組成比が高いAl_xGa_(1-x)N薄膜における弾性-塑性の機械的特性をナノインデンテーション測定によって研究した。Al_xGa_(1-x)N薄膜におけるAlの組成比が増すと,薄膜の塑性変形を生み出すYoung率Eと剪断応力が増すが,塑性変形(PD)プロセスにおける明瞭で,急激な変位不連続性(ポップイン)の発生は減少することが分かった。Alの組成比が増すと,Al_xGa_(1-x)N薄膜とAlN/サファイアテンプレートの間の格子不整合が低下するために,結合の強さの増大と応力の減少によって転位の形成に対する耐性が増大すると考えられている。この効果がAl_xGa_(1-x)N薄膜におけるポップイン特性において重要な役割を果たす。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *アルミニウム化合物 ,  *ガリウム化合物 ,  *窒化物 ,  ナノインデンテーション ,  化合物半導体 ,  *半導体薄膜 ,  *Young率 ,  *塑性変形 ,  濃度依存性 ,  応力歪特性 ,  サファイア ,  鋳型【鋳造】 ,  格子不整合 ,  転位【結晶】
準シソーラス用語： *窒化ガリウムアルミニウム ,  ポップイン

分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： Al ,  組成比 ,  薄膜 ,  弾性 ,  塑性 ,  機械的特性