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J-GLOBAL ID：201302297118746764   整理番号：13A1869722

高度混合半導体製造のランツーランコントロールのための非スレッド推定の実施

Implementation of Nonthreaded Estimation for Run-to-Run Control of High Mix Semiconductor Manufacturing

著者 (5件)： HARIRCHI Farshad (Colorado School of Mines, CO, USA) ,  VINCENT Tyrone (Colorado School of Mines, CO, USA) ,  SUBRAMANIAN Anand (Univ. California, CA, USA) ,  POOLLA Kameshwar (Univ. California, CA, USA) ,  STIRTON Broc (Globalfoundries, NY, USA)
資料名： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 26  号： 4  ページ： 516-528  発行年： 2013年11月 
JST資料番号： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  制御 ,  *品質管理 ,  自動化 ,  プロセス制御 ,  *工程管理 ,  ウエハ【IC】 ,  改変
準シソーラス用語： *ラン・ツー・ラン・コントロール ,  半導体製造プロセス

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  統計的品質管理  (KB04030W)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高度 ,  半導体製造 ,  ランツーランコントロール ,  スレッド ,  推定