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J-GLOBAL ID：201502207466181369   整理番号：15A0744559

ポイントオートフォーカス式超精密全周三次元測定装置 (MLP-2SP) の開発と実用化

Development and Practicality of a Point Autofocus Probe Ultra-precision 3D Whole Circumference Measuring Instrument (MLP-2SP)

著者 (5件)： 三浦勝弘 (三鷹光器株式会社) ,  松葉正 (三鷹光器株式会社) ,  塚本貴雄 (三鷹光器株式会社) ,  広瀬一 (三鷹光器株式会社) ,  古田島秀夫 (三鷹光器株式会社)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 81  号： 2  ページ： 113-116 (J-STAGE)  発行年： 2015年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 焦点合せ ,  精密測定 ,  計測器 ,  *非接触測定 ,  センサ ,  顕微鏡 ,  形状測定
準シソーラス用語： *オートフォーカス ,  ロータリーエンコーダ ,  *三次元測定器 ,  測定顕微鏡 ,  超精密計測 ,  表面形状測定

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (6件)：

• 1) 三浦勝弘:オートフォーカス法による3次元形状/粗さ測定機,実用精密位置決め技術辞典,(株) 産業技術サービスセンター,(2008) 597.
• 2) 三浦勝弘:ポイントオートフォーカスプロファイリングによる計測,マイクロ・ナノ領域の超精密技術,(株) オーム社,(2011) 285.
• 3) 三浦勝弘:レーザプローブによる断面・三次元形状測定,回折高学素子技術全集,(株) 技術情報協会,(2004) 165.
• 4) K. Miura and A. Nose : Point Autofocus Instrument, Optical Measurement of Surface Topography, Springer, (2011)107-129.
• 5) 三浦勝弘,松葉正,塚本貴雄,広瀬一,遠藤万平:ポイントオートフォーカス式内周輪郭測定法の開発,砥粒加工学会学術論文集,(2012).

タイトルに関連する用語 (6件)： ポイント ,  オートフォーカス ,  超精密 ,  測定装置 ,  開発 ,  実用化