抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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プレーナ形トランジスタのエミッタ・ベース接合がアバランシェ降伏を起こすと低電流における電流利得が減少する。この現象を比較的低いベース不純物添加領域のトランジスタで研究しエミッタ・ベース接合上の電界板に電圧を印加することによって,界面の降伏を制御し,この劣化が接合にそって均一に生じ,逆電流による局部的加熱によるものでないことを示した。アバランシェによって界面準位が生じ,酸化膜中に電荷が生じる。損傷面積を計算して酸化膜中の電荷の初期発生率を求めた。これは界面準位の初期形成率よりも3けたほど大きい。安定なトランジスタの構造について検討した;写図10参20