文献

J-GLOBAL ID：201602014945262522   整理番号：65A0018936

タンタルムの電子線蒸着にはタンタル陰極を用いるのが良い

Tantalum cathode improves electron-beam evaporation of tantalum.

資料名： NASA Tech Brief  (NASA Technical Brief)
号： 65-10175  ページ： 1  発行年： 1965年 
JST資料番号： A0611A  CODEN： NSTBA  資料種別： 技術報告 (T)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA) 

抄録/ポイント： Taを電子線を使って蒸着するとき,電子線源としてふつう純Wまたはリトア入りWを用いるが,これによると蒸着たしTaの中へ酸化タングステンが混じってくる。また陰極上へのTaの蒸着がおこって陰極の電子放出が悪くなる。最初からTa製の陽極を用いれば,これらの難点がなくなる。NASAはこの発明が早急に実用化されることを望んでいる。問合せはNASA,CodeAGP,Washington,D.C.20546へされたい。なおこの発明では陰極は円板状で中央に円孔があり,陽極は棒状でその先端を陰極の円孔中へ入れる;図1

分類 (1件)： (PX010100)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電子線蒸着 ,  タンタル ,  陰極