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J-GLOBAL ID:201602241546556414   整理番号:16A1123704

シリコンナノワイヤ/酸化Fan納米棒複合材料の調製とガス検知性能の研究【JST・京大機械翻訳】

Synthesis and gas-sensing properties of the silicon nanowires/vanadium oxide nanorods composite
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巻: 65  号:ページ: 90701-1-90701-7  発行年: 2016年 
JST資料番号: B0628A  ISSN: 1000-3290  CODEN: WLHPA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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ナノスフェアと酸化を用いて,P型単結晶シリコン基板上にシリコンナノワイヤを調製し,それらを基板として用いて,スパッタリング/酸化複合材料をホットプレス酸化処理により調製した。走査型電子顕微鏡とX線回折計を用いて、この複合材料のミクロ特性を分析した結果、この構造は材料の比表面積を増大させ、ガスセンサに有利であることが分かった。NO_2に対する複合材料のガス検知性能を室温で測定し,その結果,蒸着時間が複合材料のガス検知性能に大きな影響を及ぼすことを示した。適切なめっき時間を選択した場合、適量の酸化剤は材料の表面積を増加させ、大量のPN接合構造を形成し、純硅納のNO_2ガスに対する感度は明らかに向上し、しかも室温で優れた選択性を示した。同時に、ガス検知メカニズムに対して定性的な解釈を行い、シリコンナノワイヤと酸化Fan納米棒との間に形成されたPN接合及びバンド構造がNO_2に接触する時の動的変化は、そのガス感知応答の向上の主なメカニズムであると考えられる。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】
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