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J-GLOBAL ID：201602250383112344   整理番号：16A1125584

ダイヤモンド膜の微細構造とモルフォロジー進展機構を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Maskless Plasma Etching of Diamond Cones and The Morphology Evolution Mechanism

著者 (5件)： Sun Peng (Department of Physics,School of Information Science and Engineer,Ocean University of China; Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics) ,  Wang Chao (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics,Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences) ,  Yuan Guang (Department of Physics,School of Information Science and Engineer,Ocean University of China) ,  Li Junjie (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics,Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences) ,  Gu Changzhi (Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics,Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences)
資料名： Faguang Xuebao  (Faguang Xuebao)
巻： 37  号： 7  ページ： 793-797  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1380A  ISSN： 1000-7032  CODEN： FAXUEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 優れた電界放出特性を有するダイヤモンド薄膜を得るために,高品質のダイヤモンド状厚膜とナノダイヤモンド薄膜の間のエッチング特性を比較するために,高品質のダイヤモンド状厚膜とナノダイヤモンド薄膜との間の電気化学的蒸着を研究した。大面積均一ダイヤモンド石Zhuiアレイと高比(20:1)ダイヤモンドダイヤモンドを調製し,ダイヤモンド膜のエッチング形成機構を検討した。Data from the ScienceChina, LCAS.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 石材 ,  微細構造 ,  *ダイヤモンド ,  *モルフォロジー ,  エッチング ,  厚膜 ,  化学蒸着 ,  電界放出 ,  薄膜
準シソーラス用語： 形成機構 ,  大面積 ,  エッチング特性 ,  ナノダイヤモンド ,  高品質 ,  *ダイヤモンド膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： diamond cone ,  BA-HFCVD ,  plasma etching

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイヤモンド膜 ,  微細構造 ,  モルフォロジー ,  進展 ,  研究