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J-GLOBAL ID：201602255342020499   整理番号：16A0635996

VHFバンドにおける原子的に薄いMoS2ナノ電気機械共振器の全電気的読出し【Powered by NICT】

All-electrical readout of atomically-thin MoS2 nanoelectromechanical resonators in the VHF band

著者 (3件)： Rui Yang (Dept. of Electr. Eng. & Comput. Sci., Case Western Reserve Univ., Cleveland, OH, USA) ,  Zenghui Wang (Dept. of Electr. Eng. & Comput. Sci., Case Western Reserve Univ., Cleveland, OH, USA) ,  Feng Philip X.-L (Dept. of Electr. Eng. & Comput. Sci., Case Western Reserve Univ., Cleveland, OH, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： MEMS  ページ： 59-62  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 全電気的励起と検出を持つ最初の単核-,二核-および三層(1L,2L,3L)二硫化モリブデン(MoS2)ナノ電気機械共振器を報告した。円形マイクロトレンチに懸濁したこれらの原子的に薄いMoS2膜を振動チャネルトランジスタ(VCTs)を行った。デバイスは,周波数変調(FM)および/または振幅変調(AM)と下方混合技術を用いて測定した非常に高い周波数(VHF)バンドの共鳴周波数(f₀)を示し,88MHz(1l MoS2VCT)まで増加し,今までに報告された光干渉法によって測定された他の全てのMoS2ナノメカニカル共振器よりも高く,~127までの品質(Q)因子は(2L素子)。これら電界効果トランジスタ(FETs)のDC性能も測定し共鳴の電気的読み出しのためのガイダンスを提供することである。これらMoS2VCTsの応用の最初のデモンストレーションとして,著者らは,異なる波長での光子の共鳴検出のための2Lと3L素子を用いた。MoS2FETとオプトエレクトロニクス素子と一体化した更なる時,これらVCTsは新しいナノスケールのセンサやアクチュエータの開発を促進するだけでなく,多機能性,超低消費電力共鳴信号処理とセンシングのような原子的に薄い,透明なデバイスの新しいタイプを可能にするためのユニークなプラットフォームを作成し,全ての二次元(2D)半導体に基づく可能性がある。Copyright 2016 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： アクチュエータ ,  周波数変調 ,  二次元 ,  光干渉法 ,  波長 ,  振幅変調 ,  光子 ,  周波数 ,  *共鳴 ,  共振周波数 ,  ナノスケール ,  ナノメカニカル共振器 ,  硫化モリブデン(IV)
準シソーラス用語： 超低消費電力 ,  二硫化モリブデン ,  *機械共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： VHF ,  バンド ,  原子 ,  MoS2 ,  電気機械 ,  共振器