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J-GLOBAL ID：201602289443525520   整理番号：16A0752279

遷移層による接着の増大 マグネトロンスパッタリングによる超高分子量ポリエチレン(UHMWPE)上への非晶質Cの蒸着

Enhancement of adhesion by a transition layer: Deposition of a-C film on ultrahigh molecular weight polyethylene (UHMWPE) by magnetron sputtering

著者 (8件)： He F.F. (State Key Laboratory of Silicon Materials and School of Materials Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Bai W.Q. (State Key Laboratory of Silicon Materials and School of Materials Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Li L.L. (State Key Laboratory of Silicon Materials and School of Materials Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Li L.L. (Zhongao Huicheng Technology Co. Ltd., Beijing 100176, China) ,  Wang X.L. (State Key Laboratory of Silicon Materials and School of Materials Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Xie Y.J. (State Key Laboratory of Silicon Materials and School of Materials Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) ,  Jin G. (Zhongao Huicheng Technology Co. Ltd., Beijing 100176, China) ,  Tu J.P. (State Key Laboratory of Silicon Materials and School of Materials Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 364  ページ： 280-287  発行年： 2016年02月28日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 摩擦特性を改善する目的で密閉非平衡マグネトロンスパタリングを利用して,プラズマ処理したUHMWPE基板上に非晶質カーボン(a-C)膜を蒸着した。プラズマ処理時に,a-C膜と基板との接着を増すために500Vのバイアス電圧で高速イオン照射を行い,遷移層を形成した。a-C膜の力学的および摩擦特性をナノインデンテーションとボール-オン-ディスク摩擦計で評価した。900nm厚のa-C膜を堆積後,UHMWPEのナノ硬度が47MPaから720MPaへ大きく増加し,摩耗率は,子牛血清溶液内で,9.82×10^-15m³/Nmから4.78×10^-15m³/Nmに減少した。遷移層の形成は,a-C膜とUHMWPE基板間の垂直接着の増加が原因と考える。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  *炭素材 ,  基板 ,  超高分子量ポリエチレン ,  プラズマ処理 ,  *イオン照射 ,  *層 ,  *接着 ,  ナノインデンテーション ,  試験装置 ,  *微小硬さ ,  *摩耗率 ,  ウシ ,  血清 ,  溶液
準シソーラス用語： *非晶質炭素 ,  *遷移層 ,  ボールオンディスク摩耗試験機 ,  ナノ硬度 ,  仔牛

著者キーワード (4件)： a-C film ,  Transition layer ,  UHMWPE substrate ,  Tribological property

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 遷移層 ,  マグネトロンスパッタリング ,  超高分子量ポリエチレン ,  UHMWPE ,  非晶質 ,  蒸着