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J-GLOBAL ID：201702211321438293   整理番号：17A0444002

ZnO/Si/ZnO構造に沿った準縦Lamb音響モード【Powered by NICT】

Quasi longitudinal Lamb acoustic modes along ZnO/Si/ZnO structures

著者 (5件)： Verona E. (Kotel’nikov Institute of Radio Engineering & Electronics, Russian Academy of Sciences (IRE-RAS), Mokhovay Str., 11/7, 125009 Moscow, Russia) ,  Verona E. (Institute for Photonics and Nanotechnologies, Italian National Research Council (IFN-CNR), via Cineto Romano, 42, I-00156 Roma, Italy) ,  Anisimkin V.I. (Kotel’nikov Institute of Radio Engineering & Electronics, Russian Academy of Sciences (IRE-RAS), Mokhovay Str., 11/7, 125009 Moscow, Russia) ,  Osipenko V.A. (Acoustoelectronics & Piezoceramic Elpa Corporation, Panfilovsky Prospect, 10, 124460 Zelenograd, Moscow, Russia) ,  Voronova N.V. (Acoustoelectronics & Piezoceramic Elpa Corporation, Panfilovsky Prospect, 10, 124460 Zelenograd, Moscow, Russia)
資料名： Ultrasonics  (Ultrasonics)
巻： 76  ページ： 227-233  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0379B  ISSN： 0041-624X  CODEN： ULTRA3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二つのZnO層の間に挟まれたSi板からなる新しい構造は準長手方向(QL)音響Lamb波の伝搬媒体として示唆された。例として低分散準縦方向モードを考慮して,位相速度,電気機械結合定数k~2と機械的変位U_1,U_3対板とZnO層厚さは1層と非被覆板同じ板から出発して板への反対面上に二層を用いて計算した。,鉛直変位U_3において必須の減少,ZnO表面で,電気機械結合の顕著な増加が理論的に示し,薄膜/板厚の明確な組合せについて実験的に検証した。構造のこの特性は,マイクロ波液体センサへの応用にとって魅力的である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： Lamb波 ,  板厚 ,  電気機械 ,  *音響モード ,  マイクロ波 ,  結合定数 ,  *ケイ素 ,  媒質 ,  センサ ,  単一層 ,  *音響 ,  位相速度 ,  *酸化亜鉛 ,  被覆
準シソーラス用語： 二層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： SAW ,  Lamb波 ,  Si板 ,  ZnO膜 ,  QLモード

分類 (3件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  音波伝搬  (BB03030G)

タイトルに関連する用語 (4件)： ZnO ,  Si ,  縦 ,  音響モード