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J-GLOBAL ID：201702211375564439   整理番号：17A0262345

ナノの高度標準標準の開発と評価【JST・京大機械翻訳】

Development and Evaluation of Nanometer Step Height Standard Specimens

著者 (5件)： Feng Yanan (the 13(th) Institute of CETC) ,  Li Suoyin (the 13(th) Institute of CETC) ,  Han Zhiguo (the 13(th) Institute of CETC) ,  Zhao Lin (the 13(th) Institute of CETC) ,  Xu Xiaoqing (the 13(th) Institute of CETC)
資料名： Yuhang Ji Ce Jishu  (Yuhang Ji Ce Jishu)
巻： 36  号： 5  ページ： 63-66,88  発行年： 2016年 
JST資料番号： C3045A  ISSN： 1000-7202  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ナノの高度標準標準の用途と国内での相の開発状況を紹介し,ナノ高さ相の構造と製作プロセスを設計し,高さ20NM~100NMの相を作製した。20NM,50NM,100NMを例として,相の階段高さ,階段上の表面平行度,階段測定領域の粗さ,均一性,安定性について評価した。結果は,開発した相の高さが設計値と基本的に一致し,安定性が良く,米国のVLSI社の同じ高さの階段高さ標準標準と比較して,相の平行度,粗さ,均一性がVLSIVLSIの評価結果と一致することを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 生産工程 ,  アメリカ合衆国 ,  *超LSI

著者キーワード (5件)： Step height standard specimens ,  Parallel ,  Roughness ,  Uniformity ,  Stability

分類 (9件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  薄膜一般  (BK14010X) ,  対流・放射熱伝達  (PA02030K) ,  電気めっき  (WC08023B) ,  金属結晶の電子伝導  (BM03033M) ,  食品添加剤  (FJ10020H) ,  パターン認識  (JE07000S) ,  固-液界面  (CB12050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高度 ,  標準 ,  開発 ,  評価