抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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(TSV)漏れ欠陥シリコン貫通電極は3次元集積回路(IC)の収率に影響を及ぼす主要な要因の一つである。ほとんどの既存の漏れ試験法は狭い試験範囲と高いハードウェアコストに悩まされている。本研究では,プログラマブルインターバル発生器は漏れ試験,LCCGに基づく改正のために設計した。単純化ことにより,プログラマブルインターバル発生器のハードウェアコストが低減された。実験結果により,提案方式の有効性を検証した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】