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J-GLOBAL ID：201702214507689300   整理番号：17A0445526

真空アークプラズマ束中に形成されたCrON被覆の構造【Powered by NICT】

Structure of CrON coatings formed in vacuum arc plasma fluxes

著者 (14件)： Warcholinski B. (Koszalin University of Technology, Faculty of Technology and Education, Koszalin, Poland) ,  Gilewicz A. (Koszalin University of Technology, Faculty of Technology and Education, Koszalin, Poland) ,  Lupicka O. (Koszalin University of Technology, Faculty of Technology and Education, Koszalin, Poland) ,  Kuprin A.S. (National Science Center Kharkov Institute of Physics and Technology, Kharkov, Ukraine) ,  Tolmachova G.N. (National Science Center Kharkov Institute of Physics and Technology, Kharkov, Ukraine) ,  Ovcharenko V.D. (National Science Center Kharkov Institute of Physics and Technology, Kharkov, Ukraine) ,  Kolodiy I.V. (National Science Center Kharkov Institute of Physics and Technology, Kharkov, Ukraine) ,  Sawczak M. (The Szewalski Institute of Fluid Flow Machinery PAS, Gdansk, Poland) ,  Kochmanska A.E. (West Pomeranian University of Technology Szczecin, Faculty of Mechanical Engineering and Mechatronics, Szczecin, Poland) ,  Kochmanski P. (West Pomeranian University of Technology Szczecin, Faculty of Mechanical Engineering and Mechatronics, Szczecin, Poland) ,  Kuznetsova T.A. (A.V. Luikov Heat and Mass Transfer Institute of the National Academy of Sciences of Belarus, Minsk, Belarus) ,  Zubar T.I. (A.V. Luikov Heat and Mass Transfer Institute of the National Academy of Sciences of Belarus, Minsk, Belarus) ,  Khudoley A.L. (A.V. Luikov Heat and Mass Transfer Institute of the National Academy of Sciences of Belarus, Minsk, Belarus) ,  Chizhik S.A. (A.V. Luikov Heat and Mass Transfer Institute of the National Academy of Sciences of Belarus, Minsk, Belarus)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 309  ページ： 920-930  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Cr-O-N膜はHS6-5 2(DIN標準)鋼基板上に異なるO_2/(N_2+O_2)相対的な酸素濃度で陰極アーク蒸着によって形成された。蒸着したままの被覆の化学組成と相組成,表面形態は波長分散分光法,X線回折,原子間力顕微鏡,走査電子顕微鏡とRaman分光法により調べた。純窒素雰囲気中で蒸着した被覆は立方晶のCrN構造を有していた。混合酸素と窒素雰囲気中で合成した被覆の構造特性を相対的な酸素濃度に強く依存した。高相対的な酸素濃度は,皮膜の非晶質化を引き起こした。XRD回折線はシフトし,広がり,応力の増加を示し,平均微結晶サイズの減少から20%で相対的な酸素濃度0%~23nmで堆積したコーティングに対し,109nmであった。50%相対的な酸素濃度で形成された皮膜は約11nmの結晶粒径と格子歪約2%の菱面体晶Cr_2O_3構造を有していた。相対的な酸素濃度の増加もまた,増加した表面粗さとマクロ粒子によって被覆された表面速度の画分である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  三方晶系 ,  *被覆 ,  Raman分光法 ,  化学組成 ,  X線回折 ,  結晶粒径 ,  相組成 ,  粒径 ,  原子間力顕微鏡 ,  格子歪 ,  酸素
準シソーラス用語： 窒素雰囲気 ,  表面形態 ,  酸素濃度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： CrON ,  構造 ,  粒径 ,  A FM

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (2件)： 真空アーク ,  プラズマ束