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J-GLOBAL ID：201702215636737996   整理番号：17A0764230

セラミック薄膜の小規模な破壊靭性:窒化クロム靭性評価に対する試料形状,イオンビーム切欠き,及び高温の効果

Small-scale fracture toughness of ceramic thin films: the effects of specimen geometry, ion beam notching and high temperature on chromium nitride toughness evaluation

著者 (6件)： BEST James P. (EMPA - Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol., Thun, CHE) ,  ZECHNER Johannes (EMPA - Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol., Thun, CHE) ,  WHEELER Jeffrey M. (EMPA - Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol., Thun, CHE) ,  SCHOEPPNER Rachel (EMPA - Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol., Thun, CHE) ,  MORSTEIN Marcus (PLATIT AG - Advanced Coating Systems, Selzach, CHE) ,  MICHLER Johann (EMPA - Swiss Federal Lab. for Materials Sci. and Technol., Thun, CHE)
資料名： Philosophical Magazine  (Philosophical Magazine)
巻： 96  号： 31-36  ページ： 3552-3569  発行年： 2016年11月 
JST資料番号： E0753C  ISSN： 1478-6435  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集束イオンビーム源を使って物理蒸着したセラミック薄膜から作製した様々な小規模な破壊靭性構造(単一片持梁,二重片持梁,マイクロピラー分裂)を比較し,モード1靭性の定量化に対するガリウムミリング加工した切欠きの効果を調べた。集束ガリウム源を使った切欠き形成が小規模な靭性測定の結果に影響し,窒化クロム薄膜では破壊靭性値を過大評価してしまう結果が得られた。ガリウムイオン照射の効果は,走査電子顕微鏡内で小規模高温靭性測定を行って調べた。高温でアニールした結果,ガリウムが粒界へと拡散できるようになり,小規模窒化クロム試料の脆化が促進された。

シソーラス用語： *セラミック膜 ,  薄膜 ,  クロム化合物 ,  窒化物 ,  *破壊靱性 ,  微細構造 ,  片持梁 ,  *切欠き ,  効果 ,  イオンビーム加工 ,  物理蒸着 ,  集束イオンビーム ,  ガリウム ,  荷重-変形関係 ,  曲線 ,  破壊靱性試験 ,  セラミック薄膜 ,  荷重-変位曲線 ,  切欠き効果 ,  *窒化クロム
準シソーラス用語： マイクロピラー

分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (8件)： セラミック薄膜 ,  破壊靭性 ,  窒化クロム ,  靭性 ,  評価 ,  試料 ,  イオンビーム ,  切欠き