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J-GLOBAL ID：201702224072066760   整理番号：17A0207530

MEMSウエハ試験システムの現状と今後の展望【JST・京大機械翻訳】

Present situation and future prospect of MEMS wafer level test system

著者 (6件)： Qiao Yue (The 13th Research Institute,China Electronics Technology Group Corporation) ,  Liu Yan (The 13th Research Institute,China Electronics Technology Group Corporation) ,  Cheng Xiaohui (The 13th Research Institute,China Electronics Technology Group Corporation) ,  Ding Liqiang (The 13th Research Institute,China Electronics Technology Group Corporation) ,  Ding Chen (The 13th Research Institute,China Electronics Technology Group Corporation) ,  Liang Faguo (The 13th Research Institute,China Electronics Technology Group Corporation)
資料名： Chuanganqi yu Weixitong  (Chuanganqi yu Weixitong)
巻： 35  号： 10  ページ： 1-3,7  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2884A  ISSN： 2096-2436  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)製品の広範囲の応用は,ウエハ試験技術の必要性を増している。国内および国際的MEMSウエハ試験システムのハードウェアおよびMEMSウエハ試験技術の現状を分析した。国際的にRMRM標準物質(RM)を利用してMEMS製品に対して計量測定を行う方法を参照し、中国の既存のMEMSウエハ試験システムのキャリブレーション問題に対する初歩的な解決方案を提供した。最後に,この種類のテストシステムが標準化モジュール化の方向に向かっている傾向を指摘した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 標準物質 ,  中華人民共和国 ,  *MEMS ,  標準化 ,  ハードウェア
準シソーラス用語： モジュール化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： MEMS ,  wafer level test system ,  testing technology ,  reference material( RM)

分類 (9件)： 接着  (WC07020V) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K) ,  電子航法一般  (ND14010O) ,  音声処理  (JE05000E) ,  高分子固体の物理的性質  (CG02024U) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  医用素材  (GA05040H) ,  電気工学一般  (NA01010F)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  ウエハ ,  試験システム ,  現状 ,  展望