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J-GLOBAL ID：201702224080856838   整理番号：17A0533277

新しいバルク音響センサ読み出し回路の実験検証【JST・京大機械翻訳】

Experimental Validation of Novel Bulk Acoustic Wave Sensor Read-Out Circuit

著者 (3件)： Gao Yang (School of Information Engineering,Southwest University of Science and Technology, Key Lab. of Optoelectronic Technology & Systems of Ministry of Education) ,  Huang Zhenhua (Institute of Electronic Engineering,China Academy of Engineering Physics, National Key Lab. of Fundamental Science of Micro/Nano-Device and System Technology) ,  Yin Xiyang (Institute of Electronic Engineering,China Academy of Engineering Physics)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 29  号： 12  ページ： 1822-1826  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 本論文では,シミュレーションによって検証された6ポート反射計に基づく新しいBAWの読み出し回路の実現可能性を実験的に検証するために,本論文では,BAWの新しい読み出し回路を製作し,その直列共振周波数が1.5GHZのとき,薄膜の音響共振器(FBAR)は待測器であった。この共振器の共振周波数測定帯域幅(1.3GHZ~1.7GHZ)を満たすことができるPCB上のマイクロストリップ6ポートネットワークと器を設計し、RF信号発生器とオシロスコープを配合した。DUT(50Ω SMAマッチング負荷)の反射係数-周波数(Γ-F)曲線の測定結果を得た。ベクトルネットワークアナライザ(VNA)の測定結果との比較により、両者はよく一致し、実験により、「六端子反射計に基づくBAWセンサ読み出し回路」はFBAR共振周波数の測定に用いることができる本論文の研究は,実用化BAWセンサの開発とオンチップベクトルネットワークアナライザ(VNA-ON-CHIP)の設計にとって有用である。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 反射率 ,  共振器 ,  ポート ,  共振周波数 ,  反射率計 ,  オシロスコープ ,  音響共振器 ,  *センサ ,  帯域幅 ,  直列共振 ,  マイクロストリップ線路 ,  周波数
準シソーラス用語： ベクトルネットワークアナライザ ,  FBAR ,  *読出回路 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： bulk acoustic wave(BAW)sensor ,  thin-film bulk acoustic wave resonator(FBAR) ,  read-out circuit ,  sixport network ,  six-port reflectometer ,  vector network analyzer

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： バルク ,  音響センサ ,  読み出し回路 ,  実験検証