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J-GLOBAL ID：201702224158912101   整理番号：17A0599020

導電性三成分系窒化物の赤外プラズモン

Infrared Plasmonics with Conductive Ternary Nitrides

著者 (5件)： METAXA C. (Aristotle Univ. Thessaloniki, Thessaloniki, GRC) ,  KASSAVETIS S. (Aristotle Univ. Thessaloniki, Thessaloniki, GRC) ,  PIERSON J.F. (Univ. de Lorraine, Nancy, FRA) ,  GALL D. (Rensselaer Polytechnic Inst., New York, USA) ,  PATSALAS P. (Aristotle Univ. Thessaloniki, Thessaloniki, GRC)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 9  号： 12  ページ： 10825-10834  発行年： 2017年03月29日 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究では,赤外線領域におけるプラズモン応用のためのTiNに基づいた広い範囲の導電性三成分系窒化物を調べた。特に,TiNのII族とIII族元素との固溶体,Ti_xSc_1-xN,Ti_xY_1-xN,Ti_xMg_1-xN,Ti_xCa_1-xNを考察し,また,比較のためにTi_xAl_1-xN,Zi_xY_1-xNも考察した。遮蔽されないプラズマとDrudeブロードニングを介した伝導電子緩和時間に基づくこれら窒化物の表面プラズモンポラリトンに対する本質的な品質因子を計算した。その結果,安定性と固有のより良いマイクロ構造のためにTi_xSc_1-xNとTi_xMg_1-xNが最も良く,特にScが豊富なTi_xMg_1-xNは通常使用される通信バンド(850,1300,1550nm)でのプラズモンのスペクトルが良い。

シソーラス用語： *導電性 ,  *三成分系 ,  *窒化物 ,  固溶体 ,  *チタン化合物 ,  スカンジウム化合物 ,  イットリウム化合物 ,  マグネシウム化合物 ,  カルシウム化合物 ,  アルミニウム化合物 ,  ジルコニウム化合物 ,  *ポラリトン ,  CMOS構造 ,  *赤外線 ,  誘電体 ,  界面 ,  誘電関数 ,  *因子 ,  スペクトル
準シソーラス用語： *表面プラズモンポラリトン ,  光反射率スペクトル ,  *品質因子

分類 (1件)： ポラリトン  (BM02140A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 導電性 ,  三成分系 ,  窒化物 ,  赤外 ,  プラズモン