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J-GLOBAL ID:201702225721761957   整理番号:17A0097132

光ファイバ格子センサに基づく無電解めっきプロセスにおける固有応力のモニタリング【JST・京大機械翻訳】

Intrinsic Stress Monitoring During the Chemical Coating Processes Based on Fiber Grating Sensing
著者 (5件):
資料名:
巻: 45  号:ページ: 0806004-1-0806004-5  発行年: 2016年 
JST資料番号: W1500A  ISSN: 1004-4213  CODEN: GUXUED  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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無電解めっきプロセスにおける固有応力の発展過程を研究するために、光ファイバー格子センサーに基づく固有応力計算モデルを構築し、化学めっき過程の固有応力変化をモニタリングする方法を提案した。ファイバBRAGG格子の中心波長のオフセットを記録することによって,裸を補償することによって,オンラインモニタリング化学プロセスによって生じる固有応力を実現した。ファイバBRAGG格子センサを用いて,無電解CUプロセスにおける固有応力を監視した。結果は以下を示す。無電解CUプロセスにおいて,ファイバBRAGG格子の中心波長は青方偏移し,固有応力は圧縮応力を示し,固有応力は時間の増加とともに増加した。モニタリング格子の圧力感度は4.10MV/Sであり,モニタリング精度は0.24MPAに達することができた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (1件):
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光導波路,光ファイバ,繊維光学 
タイトルに関連する用語 (4件):
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