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J-GLOBAL ID：201702226511908276   整理番号：17A0496554

MLCCミニチュア化とその信頼性を確実にする効率的方法

An efficient method to achieve MLCC miniaturization and ensure its reliability

著者 (6件)： WANG Pan (Guilin Univ. Electronic Sci. and Technol., Guilin, CHN) ,  XU Huarui (Guilin Univ. Electronic Sci. and Technol., Guilin, CHN) ,  ZHU Guisheng (Guilin Univ. Electronic Sci. and Technol., Guilin, CHN) ,  ZHAO Yunyun (Guilin Univ. Electronic Sci. and Technol., Guilin, CHN) ,  LI Jinjin (Guilin Univ. Electronic Sci. and Technol., Guilin, CHN) ,  YU Aibing (Monash Univ., VIC, AUS)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 28  号： 5  ページ： 4102-4106  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層セラミックキャパシタ(MLCC)はセラミック層を重ね,その間にメタル電極を入れて共焼結している。共焼結ははがれを防ぐために注意深くしなければならないならない。MLCCの静電容量を増やすには誘電体層を薄くし,粒径を小さくすることが必要である。超コンパクトMLCCを作るのにBaTiO₃誘電体層をゾルゲル法を使い,Ag電極にマグネトロンスパッタリングを使った。電極パターン形成にはステンシル印刷の代わりにレーザエッチングを使い,フォトエッチングと特別な焼結プロセスで理想的厚さにして剥離を防いだ。以上の方法で200nm以下の単層厚みと寸法精度0.1μmが達成できた。キャパシタンスと損失の温度並びに周波数への依存性を調べた。

シソーラス用語： 磁器コンデンサ ,  積層形コンデンサ ,  *信頼性 ,  焼成 ,  静電容量 ,  チタン酸バリウム ,  ゾル-ゲル法 ,  電極 ,  マグネトロンスパッタリング ,  エッチング ,  *小型化
準シソーラス用語： *MLCC ,  レーザエッチング ,  共焼結 ,  銀電極

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (2件)： MLCC ,  ミニチュア