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J-GLOBAL ID：201702229046481981   整理番号：17A0330137

傾斜バンドギャップを持つダイヤモンド状炭素(DLC)膜におけるプラズモン増強光学吸収

Plasmon-enhanced optical absorption with graded bandgap in diamond-like carbon (DLC) films

著者 (3件)： GHOSH B. (U. de Chile, Santiago, CHL) ,  GUZMAN-OLIVOS F. (U. de Chile, Santiago, CHL) ,  ESPINOZA-GONZALEZ R. (U. de Chile, Santiago, CHL)
資料名： Journal of Materials Science  (Journal of Materials Science)
巻： 52  号： 1  ページ： 218-228  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 調整可能な光学バンドギャップ(E_g)を持つダイヤモンド状炭素(DLC)膜をガラス基板とケイ素(100)基板にRFスパッタリングで堆積した。E_gはスパッタリングでのアルゴンとアセチレンのプラズマ混合物を変えて制御できた。膜中のsp²/sp³の比率を変えることで太陽スペクトルをカバーするE_gが得られた。さらに銀のプラズマナノ粒子をDLC膜に取込むことにより吸収係数が増加し,10%のドープで一桁増加した。純粋DLC膜と銀ドープDLC膜で傾斜バンドギャップを持つ多層構造を作り純粋DCL膜のみの多層構造より高い吸収係数を得た。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  RFスパッタリング ,  *光学ギャップ ,  光吸収スペクトル ,  アルゴン ,  配位混合 ,  ナノ粒子 ,  *プラズモン ,  太陽電池 ,  傾斜機能材料 ,  銀 ,  *光吸収 ,  吸収係数 ,  アルキン
準シソーラス用語： 軌道混成 ,  銀ナノ粒子

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (6件)： バンドギャップ ,  ダイヤモンド状炭素 ,  DLC ,  プラズモン ,  増強 ,  光学