パルスレーザ蒸着により成長させたダイヤモンド状炭素膜特性に及ぼすナノ構造基板の効果【Powered by NICT】

Hevia S.A.; Hevia S.A.; Guzman-Olivos F.; Munoz I.; Munoz-Cordovez G.; Caballero-Bendixsen S.; Ruiz H.M.; Favre M.; Favre M.

文献

J-GLOBAL ID：201702231071823659 整理番号：17A0445643

パルスレーザ蒸着により成長させたダイヤモンド状炭素膜特性に及ぼすナノ構造基板の効果【Powered by NICT】

Nanostructured substrate effects on diamond-like Carbon films properties grown by pulsed laser deposition

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資料名：
巻： 312 ページ： 55-60 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

パルスレーザ蒸着(PLD)によるダイヤモンド状炭素(DLC)膜の成長におけるナノ構造基板を用いての効果に関する研究を行った。同じ条件,すなわち平坦なシリコン(Si)またはアルミニウム(Al)箔の下における平らな基板上に堆積した膜と比較して,ナノ多孔質基板上への蒸着は炭素原子のハイブリダイゼーション.~3.~2結合の低い比率を持つ膜の起源を示すことが分かった。これは基板のナノ多孔性構造によって誘起される成長過程中の局所応力緩和の結果であることができ,基板のそれを採用した場合は四面体非晶質炭素の高い含有量を得ることができないかもしれないことを示唆した。ナノ多孔質アルミナ基板を用いたナノドット成長の以前の研究に触発されて,低圧アルゴン背景を堆積プロセス時に使用した,.~3含有量の異なる値を達成した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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その他の無機化合物の薄膜 , 炭素とその化合物

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