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J-GLOBAL ID：201702231544250926   整理番号：17A0759420

共鳴トンネルデルタ-シグマ変調センサを用いた歪検出の実験的実証【Powered by NICT】

Experimental demonstration of strain detection using resonant tunneling delta-sigma modulation sensors

著者 (4件)： Tajika Takumi (Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, Japan) ,  Kakutani Yuichiro (Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, Japan) ,  Mori Masayuki (Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, Japan) ,  Maezawa Koichi (Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, Japan)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 214  号： 3  ページ： ROMBUNNO.201600548  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 共鳴トンネルダイオード(RTD)発振器に基づいて作製した歪センサ。このセンサはRTD発振器の歪依存周波数変化,周波数デルタ-シグマ変調技術,周波数変換する広いダイナミックレンジと広い帯域幅をもつディジタル信号を用いた。センサはLC共振器を用いた発振器と片持梁ビーム上に担持された滞留時間分布(RTD)から構成されている。カンチレバーはInP基板の選択的湿式エッチングを用いて作製した。このセンサでは,片持梁に適用した歪は圧電効果のためにRTDの電流-電圧特性を変化させ,振動周波数を変化させた。本論文では,音響歪信号が雑音成形挙動,デルタ-シグマ変調の独特な性質をこのセンサで検出することに成功できることを示した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 周波数 ,  電流 ,  共鳴トンネルダイオード ,  リン化インジウム ,  周波数変換 ,  *共鳴 ,  共振器 ,  発振器 ,  ウェットエッチング ,  ダイナミックレンジ ,  *センサ ,  片持梁 ,  帯域幅
準シソーラス用語： 圧電効果 ,  歪センサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： MEMS ,  Oscillators ,  共鳴トンネルダイオード ,  歪センサ

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体レーザ  (BD04070L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 共鳴 ,  トンネル ,  デルタ-シグマ変調 ,  歪検出 ,  実験 ,  実証