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J-GLOBAL ID:201702231755379201   整理番号:17A0388163

GaNの摩耗の抑制要因

Controlling factors of GaN wear
著者 (6件):
資料名:
巻: 73  号:ページ: 22-24,26-28  発行年: 2017年03月 
JST資料番号: C0445A  ISSN: 1545-858X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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摩擦計を使用して窒化ガリウム(GaN)の摩耗率を測定し,GaNの摩耗性能に対する指向性および水分効果を調査した。摩耗表面は,いくつかの表面特性化技術によって分析した。その結果,低湿度環境下では摩擦化学反応が起こり,高湿度環境下の場合には摩耗プロセスを支配してGaNが極めて低い摩耗率であることを示した。ロータリー試験では,GaNの摩耗性能が最高摩耗率(1210)および最低摩耗率(1100)の指向性があることを明らかにした。また,走査電子顕微鏡観察およびエネルギー分散X線分光分析により,低湿度環境下で厚い酸化被膜が形成されることを示した。
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分類 (2件):
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固体の機械的性質一般  ,  固体デバイス材料 
タイトルに関連する用語 (3件):
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