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J-GLOBAL ID：201702233765156976   整理番号：17A0365900

室温でガスへMoO_3薄膜とその高センシング性能に及ぼすmazy構造に誘起された熱アニーリング【Powered by NICT】

Thermal annealing induced mazy structure on MoO₃ thin films and their high sensing performance to NO gas at room temperature

著者 (7件)： Li Y.X. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, China) ,  Song Z.X. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, China) ,  Jiang F. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, China) ,  Sun Q. (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering Mechanical Engineering School, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, China) ,  Ma F. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, China) ,  Wang H.R. (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering Mechanical Engineering School, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, China) ,  Chen K. (State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049, Shaanxi, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 42  号： 16  ページ： 18318-18323  発行年： 2016年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MoS_2薄膜を,ラジオ周波数(RF)マグネトロンスパッタリングにより作製し,空気中でアニールした。X線回折(XRD),電界放出走査電子顕微鏡(FESEM)および透過型電子顕微鏡(TEM)を採用して相構造と表面形態を特性化した。興味深いことに,空気中での熱アニーリングにより,MoS_2薄膜はmazy形態を持つαMoO_3に変化し,薄膜は長さ30~50nmと10nmの幅を持つMoO_3ナノシートで覆われていた。mazy形態を持つαMoO_3薄膜は室温でガスに対して優れた応答を示さなかった。5%と92%の応答は5ppmと200ppmで得られた,応答と回復時間は30sおよび1500sであった。MoO_3のmazy構造はSO_2,NH_3とH_2ガスに関してNOガスに対して良好な選択性を示した。高表面対体積比は,高い検知性能の支配的因子であった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ガスセンサ ,  周波数 ,  透過型電子顕微鏡 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *薄膜 ,  体積率 ,  X線回折 ,  キャラクタリゼーション ,  ナノシート
準シソーラス用語： 回復時間 ,  表面形態 ,  電界放出型走査電子顕微鏡 ,  *熱アニーリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  MoO_3 ,  Mazy構造 ,  ガスセンサ ,  NO

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 室温 ,  薄膜 ,  センシング ,  誘起 ,  熱アニーリング