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J-GLOBAL ID：201702233945368496   整理番号：17A0445595

超高速レーザ蒸着した炭素膜の秩序とRamanスペクトルの特徴のDバンドの間の関係の評価【Powered by NICT】

Assessments of the relation between the degree of order of the ultrafast laser deposited carbon film and the features of the Raman spectrum’s D band

著者 (4件)： Wu Han (Institute of Modern Optics, Nankai University, Key Laboratory of Optical Information Science and Technology, Ministry of Education, Tianjin 300071, China) ,  Zhou Tian (Institute of Modern Optics, Nankai University, Key Laboratory of Optical Information Science and Technology, Ministry of Education, Tianjin 300071, China) ,  Zhang Nan (Institute of Modern Optics, Nankai University, Key Laboratory of Optical Information Science and Technology, Ministry of Education, Tianjin 300071, China) ,  Zhu Xiaonong (Institute of Modern Optics, Nankai University, Key Laboratory of Optical Information Science and Technology, Ministry of Education, Tianjin 300071, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 311  ページ： 55-62  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高度に配向した熱分解グラファイト(HOPG)を真空(4× 10~ 4 Pa)における異なるパルス幅(50fsと4ps)とレーザフルエンス(68J/cm~2と34J/cm~2)を用いた超短レーザパルスによってアブレートした。0.85×10~13cm~2から1.36×10~15cm~2の範囲の強度をもつレーザパルスにより発生した放出材料を収集することにより堆積したダイヤモンド状炭素(DLC)膜。膜の材料組成をマイクロRaman分光法を用いて研究し,得られたRamanスペクトルの特徴は,ピークフィッティング関数の三種類の集合,Breit-Wigner-Fano(BWF)とLorentz関数,二Gauss関数,および二減衰調和振動子関数を用いて解析した。適切な対称性を持つピークフィッティング関数を採用した場合,Dバンドの位置と半値全幅(FWHM)全幅は蒸着した炭素膜の規則度の評価パラメータとして用いることができることが分かった。ピーク当てはめ結果は,DLC膜に対しては,Dバンドの位置とFWHMは膜のため,結晶サイズ閉じ込め効果のために二重共鳴Raman散乱モデルによって解釈できるの程度の増加とともに増加することを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： パルス幅 ,  共鳴Raman散乱 ,  規則度 ,  Raman散乱 ,  DLC膜 ,  レーザパルス ,  *Ramanスペクトル ,  高配向性熱分解グラファイト ,  *レーザ蒸着 ,  顕微Raman分光法 ,  Raman分光法 ,  FWHM
準シソーラス用語： レーザフルエンス ,  *Dバンド ,  *炭素膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 超高速レーザアブレーション ,  カーボン膜 ,  Raman分光法 ,  秩序の程度 ,  二重共鳴Raman散乱 ,  結晶サイズ閉込め効果

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ蒸着 ,  炭素膜 ,  Ramanスペクトル ,  Dバンド ,  評価