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J-GLOBAL ID：201702234142510457   整理番号：17A0040174

振幅変調原子間力顕微鏡による位相差に基づいた静電力及びその特性の決定

Determination of electrostatic force and its characteristics based on phase difference by amplitude modulation atomic force microscopy

著者 (6件)： WANG Kesheng (Tsinghua Univ.) ,  CHENG Jia (Tsinghua Univ.) ,  YAO Shiji (Tsinghua Univ.) ,  LU Yijia (Tsinghua Univ.) ,  JI Linhong (Tsinghua Univ.) ,  XU Dengfeng (Tsinghua Univ.)
資料名： Nanoscale Research Letters (Web)  (Nanoscale Research Letters (Web))
巻： 11  号： 1  ページ： 11:548 (WEB ONLY)  発行年： 2016年12月 
JST資料番号： U7001A  ISSN： 1931-7573  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ/ナノスケールにおける静電力測定は,科学及び工学において大きな意義をもつ。本論文において,振幅変調原子間力顕微鏡により,プローブ及び試料電極それぞれに電圧を印加し,プローブ振動位相差の測定効果を比較しながら,電圧印加の妥当な方法を,試料として実際の集積回路製造プロセスにおける静電チャックを取ることにより提案した。実験から得られた位相差に基づいて,チップ-試料距離及び印加電圧への静電力の絶対値の定量的依存性を,理論的分析及び数値シミュレーションにより構築した。結果は,マイクロ/ナノスケールにおける距離及び電圧による静電力の特性の変化が,マクロスケールでのそれらと同一であることを示した。静電力は,距離の増大と共に次第に減衰した。静電力は,基本的に,印加電圧の二乗に比例した。一方,上述の法則の適用条件を議論した。さらに,エネルギー散逸法の結果との本論文の結果との比較は,両者が,一般的に一致することを示した。誤差は,距離の増大と共に減少し,誤差への電圧の効果は小さかった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *静電気 ,  *力 ,  *振幅変調 ,  *原子間力顕微鏡 ,  *顕微鏡観察 ,  *集積回路 ,  チャック ,  静電気応用 ,  *表面構造 ,  表面電位 ,  シミュレーション ,  *ケイ素 ,  *プローブ ,  電荷分布 ,  密度 ,  試料 ,  数値解析 ,  エネルギー散逸
準シソーラス用語： 静電力 ,  位相差 ,  静電チャック ,  電荷密度

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 振幅変調 ,  原子間力顕微鏡 ,  位相差 ,  静電力