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J-GLOBAL ID：201702234249162079   整理番号：17A0368380

ナノ秒パルスレーザによる銀ナノワイヤ透明導電膜の除去特性に及ぼすパルス持続時間の影響【Powered by NICT】

Effects of pulse duration on removal characteristics of silver nanowire transparent conductive film by nanosecond pulsed laser

著者 (6件)： Nishi Norio (Kataoka Corporation, 140 Kuzetsukiyamacho, Minami-ku, Kyoto 601-8203, Japan) ,  Okamoto Yasuhiro (Okayama University, 3-1-1 Tsusimanaka, Kita-ku, Okayama 700-8530, Japan) ,  Oshita Masafumi (Okayama University, 3-1-1 Tsusimanaka, Kita-ku, Okayama 700-8530, Japan) ,  Okada Akira (Okayama University, 3-1-1 Tsusimanaka, Kita-ku, Okayama 700-8530, Japan) ,  Shinonaga Togo (Okayama University, 3-1-1 Tsusimanaka, Kita-ku, Okayama 700-8530, Japan) ,  Sakagawa Tomokazu (Kataoka Corporation, 140 Kuzetsukiyamacho, Minami-ku, Kyoto 601-8203, Japan)
資料名： Journal of Materials Processing Technology  (Journal of Materials Processing Technology)
巻： 240  ページ： 255-261  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0650A  ISSN： 0924-0136  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アクリル樹脂層で覆われた銀ナノワイヤ透明導電膜のレーザ加工では,電気絶縁と表面品質に及ぼすパルス持続時間の影響を,ナノ秒パルスレーザを用いて実験的に研究した。銀ナノワイヤの除去による安定な電気絶縁を達成するための最小レーザフルエンスはパルス持続時間の減少と共に小さくなったが,短いパルス幅はレーザフルエンスの境界領域での銀ナノワイヤの除去トレース面積の劇的な変化を示した導電性状態を変える絶縁にした。対照的に,およそ200nsの長いパルス幅は銀ナノワイヤのほぼ一定の小さい除去トレース領域を示し,銀ナノワイヤの小さい除去トレース領域と安定な電気絶縁を行うために広いプロセスウィンドウはナノ秒パルスレーザ処理における適切な長いパルス持続時間を用いて期待できる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *パルスレーザ ,  *レーザ ,  アクリル樹脂 ,  境界領域 ,  *透明導電膜 ,  レーザ加工 ,  導電性 ,  表面性状 ,  *ナノ秒 ,  *パルス幅
準シソーラス用語： *ナノ秒パルス ,  プロセスウィンドウ ,  レーザフルエンス ,  *銀ナノワイヤ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 銀ナノワイヤ ,  透明導電膜 ,  ナノ秒パルスレーザ ,  パルス持続時間 ,  絶縁 ,  選択的除去

分類 (3件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  金属結晶の電子伝導  (BM03033M) ,  ガラスの製造  (YC02020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ秒パルスレーザ ,  銀ナノワイヤ ,  透明導電膜 ,  パルス持続時間