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J-GLOBAL ID:201702234565874685   整理番号:17A0216294

Schottky接合垂直配向ZnOナノロッドに基く水素センサにおよぼすガンマ線照射の影響

Effect of gamma irradiation on Schottky-contacted vertically aligned ZnO nanorod-based hydrogen sensor
著者 (5件):
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巻: 27  号: 34  ページ: 345502,1-8  発行年: 2016年08月26日 
JST資料番号: W0108A  ISSN: 0957-4484  CODEN: NNOTER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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n型ケイ素基板上にRFマグネトロンスパッタにより酸化亜鉛のナノロッドを成長させた。金の環状Shottky接合を蒸着により形成した。Au/ZnO NR/n-Si/Auナノセンサを作製し,室温でガンマ線照射した。電界放出型走査電子顕微鏡,原子間力顕微鏡,X線回折,光ルミネセンススペクトルによりキャラクタリゼーションを行った。高いドース量で格子欠陥の生成を推定した。1kGy照射では1%水素に対するセンサ応答は67%から77%に増大したが,10kGy照射では33.5%に低下した。
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分類 (3件):
分類
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酸化物の結晶成長  ,  半導体-金属接触  ,  分析機器 
タイトルに関連する用語 (5件):
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