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J-GLOBAL ID：201702235006791900   整理番号：17A0401074

パルスDCマグネトロンスパッタリングにより堆積した硬質耐摩耗VB_2被覆【Powered by NICT】

Hard and wear resistant VB₂ coatings deposited by pulsed DC magnetron sputtering

著者 (6件)： Ge Fangfang (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Chen Chunli (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Shu Rui (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Meng Fanping (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Li Peng (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Huang Feng (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Zhejiang Key Laboratory of Marine Materials and Protective Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 135  ページ： 66-72  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ほう化バナジウム(VB_2)皮膜はそれほど関与した,それらは最上級硬度と同様に自己潤滑の利点がある。本研究では,VB_2被覆はパルスDCマグネトロンスパッタリングにより堆積し,微細構造に及ぼす蒸着パラメータ,被覆の機械的特性とトライボロジー特性の影響を,X線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),透過型電子顕微鏡(TEM),ナノ-ミクロ押込,及びボールオンディスク摩擦計により調べた。吸着原子移動度の高い成長条件のもとでは,皮膜は完全(001)配向と緻密な組織を示した。ナノカラムは二次相により分離されたナノ複合材料構造は,特に773で電着された被膜で観察された。コーティングの硬さと固有応力の両方は,基板バイアス,または,パルス周波数を増加させることによって実質的に改善した。 30Vおよび250kHzで蒸着した被覆は,~43.6GPaの硬度と~2.0GPaの圧縮応力を有していた。2Nの負荷の下で,摩擦係数は~Al_2O_3対応物に対して0.7であり,摩耗速度は7×10~-16 8×10~ 16m~3n mの範囲であった。5Nの負荷の下で,低い内部応力を有する被覆は良好な耐摩耗性を示し,10~ 16m~3n mの摩耗率Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *被覆 ,  耐摩耗性 ,  電着 ,  透過型電子顕微鏡 ,  摩擦係数 ,  移動度 ,  摩耗速度 ,  第二相 ,  X線回折 ,  *摩耗 ,  ナノ複合材料 ,  走査電子顕微鏡 ,  硬度 ,  圧縮応力
準シソーラス用語： *DCマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： VB_2被覆 ,  パルスDCマグネトロンスパッタリング ,  Hardness ,  摩耗

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルス ,  DCマグネトロンスパッタリング ,  堆積 ,  硬質 ,  耐摩耗