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J-GLOBAL ID：201702235166317657   整理番号：17A0756807

革新的広帯域振動センサの設計と実験的解析【Powered by NICT】

Design and experimental analysis for innovative wide bandwidth vibration sensor

著者 (8件)： Sue Chung-Yang (Microsystems Technology Center, Industrial Technology Research Institute, Taiwan, Rm.202, R1 Building, No.31, Gongye 2nd Rd., Annan District, Tainan 709, Taiwan) ,  Lin Chih-Che (Microsystems Technology Center, Industrial Technology Research Institute, Taiwan, Rm.202, R1 Building, No.31, Gongye 2nd Rd., Annan District, Tainan 709, Taiwan) ,  Tsai Chun-Yin (Microsystems Technology Center, Industrial Technology Research Institute, Taiwan, Rm.202, R1 Building, No.31, Gongye 2nd Rd., Annan District, Tainan 709, Taiwan) ,  Chen Chih-Yuan (Microsystems Technology Center, Industrial Technology Research Institute, Taiwan, Rm.202, R1 Building, No.31, Gongye 2nd Rd., Annan District, Tainan 709, Taiwan) ,  Teng Li-Tao (Microsystems Technology Center, Industrial Technology Research Institute, Taiwan, Rm.202, R1 Building, No.31, Gongye 2nd Rd., Annan District, Tainan 709, Taiwan) ,  Chen Wei-Liang (Microsystems Technology Center, Industrial Technology Research Institute, Taiwan, Rm.202, R1 Building, No.31, Gongye 2nd Rd., Annan District, Tainan 709, Taiwan) ,  Lin Chih-Hsiou (Microsystems Technology Center, Industrial Technology Research Institute, Taiwan, Rm.202, R1 Building, No.31, Gongye 2nd Rd., Annan District, Tainan 709, Taiwan) ,  Shiau Jieh-Ling (Microsystems Technology Center, Industrial Technology Research Institute, Taiwan, Rm.202, R1 Building, No.31, Gongye 2nd Rd., Annan District, Tainan 709, Taiwan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： IMPACT  ページ： 357-360  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 容量広帯域振動センサのための革新的な設計を本研究で実験を提案し検証した。他軸効果を低減できることを三次元と高g振動運動が提案した振動センサにより検出された個別にすることができ,感度を高めることができる。固定-固定ビームストッパとカンチレバービームストッパ,衝撃吸収機構は,外部衝撃波加速に対する採用した損傷とスティクションを防止できるようにした。さらに,読み出し回路は,信号対雑音比を向上させることができる出力信号の利得とオフセットを較正した。一連の実験により,作製した素子の幅と高さは2.45mmと2.55mmであった。帯域幅は約15kHz/15kHz/10kHzであるX/Y-/Z軸に関してであった。センサの感度は約0.113fF/g,0.113fF/gと0.095fF/gであった。さらに,10kg衝撃波加速は提案された衝撃吸収機構によって吸収されることができる。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 利得 ,  三次元 ,  *広帯域 ,  オフセット ,  SN比 ,  帯域幅 ,  *センサ ,  衝撃吸収 ,  *振動センサ
準シソーラス用語： 出力信号 ,  読出回路 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 非線形光学  (BD05000T) ,  有機化合物・錯体の核四重極共鳴スペクトル  (BM07052T) ,  AD・DA変換回路  (NC05080M) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  水中音響応用  (BB03090U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 広帯域 ,  振動センサ ,  設計 ,  実験的解析