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J-GLOBAL ID：201702237899744431   整理番号：17A0467929

陽極酸化アルミニウムテンプレートに基づく多重ナノ構造

Multiple nanostructures based on anodized aluminium oxide templates

著者 (4件)： WEN Liaoyong (Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU) ,  XU Rui (Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU) ,  MI Yan (Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU) ,  LEI Yong (Ilmenau Univ. Technol., Ilmenau, DEU)
資料名： Nature Nanotechnology  (Nature Nanotechnology)
巻： 12  号： 3  ページ： 244-250  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： W2059A  ISSN： 1748-3387  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,材料,寸法,および形態を含む各サブ要素のための制御性の高い多様な二重ナノ構造アレイを実現するための概念について報告した。インプリンティング/陽極酸化プロセスを用いて,正方形細孔アレイを有する陽極酸化アルミニウムテンプレートを形成し,NaOH溶液中において,テンプレート底面に選択エッチングを適用することにより,異なる一連の円形細孔を形成した。二重細孔テンプレートによる電着と原子層堆積のみを用いて,様々な材料とナノワイヤ/ナノワイヤ,ナノワイヤ/ナノチューブ,ナノチューブ/ナノチューブ等の形態の1次元二重ナノ構造の大規模アレイを実現した。その結果,著者等は,2つの異なる材料と形態の相互作用を利用して,光触媒反応中心,マルチゲートトランジスタ,およびプラズモニック基板等の二重ナノ構造に基づく原理証明デバイスを構築した。

シソーラス用語： *アノード酸化 ,  *酸化アルミニウム ,  *型枠 ,  *板 ,  *ナノ構造 ,  材料 ,  長さ ,  形態 ,  可制御性 ,  刷込 ,  パターン転写 ,  押付成形 ,  細孔 ,  エッチング ,  電着 ,  化学蒸着 ,  ナノチューブ ,  ナノワイヤ ,  アレイ ,  構造体 ,  光触媒反応 ,  MOSFET ,  結晶 ,  *陽極酸化アルミニウム ,  *テンプレート【型板】 ,  ナノ細孔 ,  選択エッチング ,  プラズモニック結晶
準シソーラス用語： *陽極酸化 ,  寸法 ,  制御性 ,  インプリンティング ,  ナノインプリンティング ,  原子層堆積 ,  マルチゲート電界効果型トランジスタ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 陽極酸化アルミニウム ,  テンプレート ,  多重 ,  ナノ構造