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J-GLOBAL ID：201702242875306176   整理番号：17A0754915

トリプルパターニングのためのレイアウト分割手法のための離散緩和法【Powered by NICT】

Discrete Relaxation Method for Triple Patterning Lithography Layout Decomposition

著者 (3件)： Li Xingquan (Center for Discrete Mathematics and Theoretical Computer Science, Fuzhou University, Fuzhou, China) ,  Zhu Ziran (Center for Discrete Mathematics and Theoretical Computer Science, Fuzhou University, Fuzhou, China) ,  Zhu Wenxing (Center for Discrete Mathematics and Theoretical Computer Science, Fuzhou University, Fuzhou, China)
資料名： IEEE Transactions on Computers  (IEEE Transactions on Computers)
巻： 66  号： 2  ページ： 285-298  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0233A  ISSN： 0018-9340  CODEN： ICTOB4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,三重パターニングリソグラフィーレイアウト分解問題を考察した。問題を解決するために,離散緩和理論を構築した。離散緩和法に基づく分解フレームワークを設計するために,筆者等はレイアウトにおける天然コンフリクトを同定し,次にコンフリクトグラフを構築するための表面投影法を提案した。理論に導かれて,コンフリクトグラフが頂点除去,離散緩和によって小型部分グラフに還元される。さらに,ステッチ挿入を無視すると特徴に重みを割り当てることにより,小さな部分グラフのレイアウト分解問題は0 1プログラム,分枝限定法によって解かれるに緩和した。元の問題の実現可能な解を得るために,合法化方法は緩和解の証拠となりうるために導入した。合法化段階では,前1針挿入を利用するコンフリクトを解消し,より良い解を得るためにバックトラック彩色アルゴリズムを用いた。ISCAS-85&89ベンチマークに関する分解法を試験した。実験結果の比較は,筆者らのアプローチが最新の分解によるものよりも優れたいくつかのベンチマークの解を見出すことを示した。特に,離散緩和理論によれば,いくつかの最適分解が得られた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ベンチマーク ,  *緩和現象 ,  バックトラッキング ,  *分割法 ,  部分グラフ ,  発色 ,  *緩和法 ,  分枝限定法 ,  アルゴリズム

分類 (3件)： 制御方式  (JC02030K) ,  ディジタル計算機方式一般  (JC02010O) ,  計算理論  (JB02000A)

タイトルに関連する用語 (4件)： パターニング ,  レイアウト ,  分割手法 ,  緩和法