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J-GLOBAL ID：201702243360649592   整理番号：17A0207590

半導体冷却によるコールドトラップシステムの設計【JST・京大機械翻訳】

Design of cold trap system on semiconductor

著者 (6件)： Ma Jiyao (School of Environment Science and Safety Engineering,Tianjin University of Technology) ,  Zhang Jiaqi (School of Environment Science and Safety Engineering,Tianjin University of Technology) ,  Xu Chunyu (School of Environment Science and Safety Engineering,Tianjin University of Technology) ,  Zhang Chunlan (School of Environment Science and Safety Engineering,Tianjin University of Technology) ,  Qiao Xudong (School of Environment Science and Safety Engineering,Tianjin University of Technology) ,  Zhang Bodong (School of Environment Science and Safety Engineering,Tianjin University of Technology)
資料名： Chuanganqi yu Weixitong  (Chuanganqi yu Weixitong)
巻： 35  号： 11  ページ： 84-86  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2884A  ISSN： 2096-2436  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 空気中の有機揮発性ガスの含有量を測定することができないという特徴に対して、サンプルの濃縮処理を設計し、サンプルの濃縮処理を行い、測定の感度を向上させることができ、この方法は他の前処理法と比較して構造が簡単である。冷却速度が速く、メンテナンスが便利で、制御しやすいなどのメリットがある。実験結果は以下を示す。このシステムは安定で信頼できる。エタノールのホルムアルデヒドとホルムアルデヒドの平均濃度は,それぞれ,0.44×10(-6)と0.36×10(-6)であり,試験結果は,トラップの温度と5つの異なる濃度のエタノールとホルムアルデヒドに対して,要求を満たすことを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 前処理 ,  冷却速度 ,  *半導体 ,  保守管理 ,  揮発性 ,  脂肪族アルデヒド ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： 平均濃度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： semiconductor cold trap ,  gas detection ,  PID technology

分類 (2件)： その他の汚染原因物質  (SB05040W) ,  晶析  (XD02070T)

物質索引 (2件)： ホルムアルデヒド ,  エタノール

タイトルに関連する用語 (2件)： コールドトラップ ,  設計