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J-GLOBAL ID：201702243613045488   整理番号：17A0365813

窒化けい素セラミック切削工具の表面上の新規四元(Ti, Al, Zr)N被覆の微細構造,機械的性質,摩耗機構に及ぼすバイアス電圧の影響【Powered by NICT】

Effects of bias voltage on microstructure, mechanical properties, and wear mechanism of novel quaternary (Ti, Al, Zr)N coating on the surface of silicon nitride ceramic cutting tool

著者 (10件)： Liu Wei (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, Guangdong, China) ,  Li Anqiong (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, Guangdong, China) ,  Wu Haidong (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, Guangdong, China) ,  He Rongxuan (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, Guangdong, China) ,  Huang Jiawei (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, Guangdong, China) ,  Long Ying (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, Guangdong, China) ,  Deng Xin (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, Guangdong, China) ,  Wang Qimin (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, Guangdong, China) ,  Wang Chengyong (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, Guangdong, China) ,  Wu Shanghua (School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, Guangdong, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 42  号： 15  ページ： 17693-17697  発行年： 2016年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,新規な四元(Ti, Al, Zr)N被覆はSi_3N_4セラミック基板上にマルチアークイオンめっき(MAIP)法により作製することに成功した。MAIPプロセス中に,Tiターゲット,Zrターゲット,AlTiターゲットの組み合わせを用いた。(Ti, Al, Zr)N皮膜の四群は,異なるバイアス電圧(50年,100年,150年,および200V)を用いて製造した同じターゲット電流がした。(Ti, Al Zr)N被覆のミクロ組織,機械的性質および摩耗機構に及ぼすパルスバイアス電圧の効果を,PVD被覆セラミック切削工具の切削性能を最適化するために調べた。旋削試験の結果は,50Vのバイアスで作製した切削工具の支配的な摩耗機構はアブレシブ摩耗と疲れ摩耗であることを示した。バイアスが100から200Vに増加したとき,メカニズムは,凝着摩耗とアブレシブ摩耗の組合せであった。本研究はSi_3N_4切削工具上に4元系コーティングのMAIPのバイアス電圧の重要な役割を理解するための新しい展望を提供すると信じられている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *ジルコニウム ,  *摩耗 ,  *切削工具 ,  旋削 ,  *バイアス ,  *窒化ケイ素 ,  切削性 ,  *チタン ,  アブレシブ摩耗 ,  ケイ素 ,  最適化
準シソーラス用語： 凝着摩耗 ,  アークイオンプレーティング ,  *バイアス電圧 ,  *摩耗機構 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： C.機械的性質 ,  D Si_3N_4 ,  物理蒸着 ,  E.切削工具

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (10件)： 窒化けい素 ,  セラミック ,  切削工具 ,  Ti ,  Al ,  Zr ,  微細構造 ,  機械的性質 ,  摩耗 ,  バイアス電圧