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J-GLOBAL ID：201702243915305992   整理番号：17A0656419

マルチビーム顕微鏡法における安定性を向上する方法

Method for enhancing stability in multi-beam microscopy

著者 (6件)： HUANG Yujia (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  WANG Yifan (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  KUANG Cuifang (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  KUANG Cuifang (Shanxi Univ., Taiyuan, CHN) ,  LIU Xu (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  LIU Xu (Shanxi Univ., Taiyuan, CHN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 27  号： 10  ページ： 105901,1-10  発行年： 2016年10月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,2次元(横,角度)の空間的アライメントを自動で行うことを目指し,様々なマルチビーム顕微鏡におけるビームの角度安定性および並進安定性を向上するための4自由度閉ループ制御に基づく方法について報告した。4自由度位置検出器,並びにモータと圧電サーボ制御を備えた2つのアクチュエータミラーにより,マルチビームの変位を構成した。自己学習プロセスにより得られた出力結合マトリックスを使用して,4自由度を独立してビーム変位により補償するように4つのアクチュエータを制御した。小型安定化システムを使用して,入射瞳面で約2μm 以内の標準偏差を実現した。その結果,著者等は,リアルタイムで迅速に反応し,空気の揺らぎまたは温度変化により引き起こされる大きな外乱を補償可能にした。

シソーラス用語： *顕微鏡 ,  *安定性 ,  *精度 ,  *アラインメント ,  *ビーム技術 ,  フィードバック制御 ,  検出器 ,  電動機 ,  サーボ制御 ,  アクチュエータ ,  鏡 ,  学習 ,  動的安定性 ,  標準偏差
準シソーラス用語： *アライメント精度 ,  閉ループ制御 ,  高精度位置検出器 ,  モータ ,  ミラー ,  自己学習

分類 (3件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  システム設計・解析  (IA02030D) ,  制御機器一般  (IC02010N)

タイトルに関連する用語 (3件)： マルチビーム ,  顕微鏡法 ,  安定性