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J-GLOBAL ID:201702244260532379   整理番号:17A0575246

薄膜太陽電池用CuSbS2の低温原子層堆積

Low-Temperature Atomic Layer Deposition of CuSbS2 for Thin-Film Photovoltaics
著者 (6件):
資料名:
巻:号:ページ: 4667-4673  発行年: 2017年02月08日 
JST資料番号: W2329A  ISSN: 1944-8244  CODEN: AAMICK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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堆積条件を慎重にin situ解析して,原子層堆積(ALD)によりCuSbS2薄膜をの低温で作製する方法を開発した。225°Cで15分間焼なまし後のALD成長したCuSbS2膜は微粒子からなる結晶質であり,バンドギャップは1.6eV,吸収係数は>104cm-1,濃度は1015cm-3であった。このCuSbS2膜とALD成長TiO2膜を組合せて薄膜太陽電池を作製した。この太陽電池の構造は,これ迄に報告されている非常に限られた数のCdを含まないCuSbS2スタックの一つで,CuSbS2/CdSヘテロ接合太陽電池と同等の開路電圧を初めて実証した。
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分類 (1件):
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その他の無機化合物の薄膜 
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